材料的宏觀力學、物理和化學性質是由它的微觀的形態、結構和成分所決定的。電子顯微術就是由電子與物質的相互作用產生的資訊來認識材料的微觀的形態、結構與微區成分的。它可以研究原子尺度(特別是納米尺度)的現象,而且可進行動態原位觀察以及對微區進行綜合分析,它是材料科學與工程中最常用的方法之一。本課程作為學習電子顯微術的入門課。主要介紹透射電子顯微術(TEM,ED,EDS)、掃描電子顯微術(SEM,EDS、WDS)、電子探針(EPMA)和掃描探針顯微術(STM,AFM)的基本理論及其應用。本課程適用於材料、物理、化學、化工、機械、微電子、土木、生物、醫學等學科的本科生或研究生。該課程2007年被評為國家精品課。